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国标编号22011,CAS号7440-37-1,分子式Ar,分子量39.95,无色无臭的惰性气体;蒸汽压202.64kPa(-179℃);熔点-189.2℃;沸点-185.7℃溶解性:微溶于水;密度:相对密度(水=1)1.40
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用途:用于半导体制造工艺中的化学气相淀积、晶体生长、热氧化、外延、扩散、多晶硅、钨化、离子注入、冶炼、切割、焊接等。标准混合气价格理化性质:氩气的性质非常稳定,既不能燃烧,也不助燃。氩本身无毒,但在高浓度时有窒息作用。当空气中氩气浓度高于
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液化的瓶装氩气,无色、无味、窒息性的惰性气体。产品纯度:99.999%。标准混合气主要用途:广泛应用于焊接、不锈钢制造、冶炼,还用于半导体制造工艺中的化学气相淀积、晶体生长、热氧化、外延、离子注入、载流、烧结等。用作ICP,气相色谱仪等仪器